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  • HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵
    HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵泵具有密封設計,電機和軸承與真空環(huán)路全隔離,延長了軸承的使用壽命,并提供潔凈、無油的真空條件。IDP 泵采用單面渦旋設計,可通過簡單的工具在 15 分鐘內(nèi)完成維護操作。可選的集成式隔離閥防止意外污染,并且不會額外增加泵的高度。
    01

    更新日期

    2025-09-17
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  • HMDS 烘箱 工業(yè)烘箱
    HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C),在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結(jié)合。
    01

    更新日期

    2025-09-17
    02

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  • HMDS烤箱,HMDS真空烘箱
    HMDS烤箱,HMDS真空烘箱將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。
    01

    更新日期

    2026-07-28
    02

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  • HMDS真空烤箱,MES系統(tǒng)HMDS烤箱 工業(yè)烘箱
    HMDS真空烤箱,MES系統(tǒng)HMDS烤箱將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
    01

    更新日期

    2025-09-16
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  • HMDS涂膠烤箱,MES接口hmds涂布機 工業(yè)烘箱
    HMDS涂膠烤箱,MES接口hmds涂布機的主要作用是對晶圓做表面處理,以增加光阻在晶圓表面的附著力。當晶圓送到黃光區(qū)時,表面可能有含水層,高溫烘烤后去除水氣,同時經(jīng)過HMDS制程改變晶圓表面從極性到非極性,將晶圓表面的表面能被調(diào)整到與光阻表面相當?shù)某潭龋瑥亩构庾杩梢院芎玫母街诰A表面。
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    更新日期

    2025-09-16
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